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纳米型显微CT柱状测试图样模体（MicroCT Bar Pattern NANO Phantom），内含两个3 x 3 mm² 硅质芯片，分别水平和垂直安装，通过塑料支架固定在模体的中心位置。双硅芯片上均呈现数组线状或点状图样，线宽和点直径从1µm到15µm不等，结构的深度在5和15µm 之间变化。用户仅通过一次曝光和测量，就可以对整个芯片的中心以及外围的分辨率做出评估。通过最直接、可见的方式评估3D高分辨率显微CT(Micro-CT)系统的平面及轴向空间分辨率。 产地：德国
品名：MicroCT-Barpattern-NANO
模体参数
直径：5.2mm
高度：19.1mm
材料：致密塑料 芯片参数
直径：2.96mm
高度：0.66mm
材料：硅
芯片结构：1-15µm
结构深度：5-15µm
对比材料 ：硅/空气 芯片上的线宽/点宽与线对数量的对应 1 至 15 µm 结构的图案 芯片结构分布 芯片结构描述 部分1结构 部分2结构